设备维修体制的发展过程可划分为事后修理、预防维修、生产维修、维修预防和设备综合管理五个阶段。
1．事后修理
事后修理是指设备发生故障后，再进行修理。这种修理法出于事先不知道故障在什么时候发生，缺乏修理前准备，因而，修理停歇时间较长。此外，因为修理是无计划的，常常打乱生产计划，影响交货期。事后修理是比较原始的设备维修制度。除在小型、不重要设备中采用外，已被其它设备维修制度所代替。
2．预防维修
第二次大战时期，军工生产很忙，但是设备故障经常破坏生产。为了加强设备维修，减少设备停工修理时间，出现了设备预防维修的制度。这种制度要求设备维修以预防为主，在设备运用过程中做好维护保养工作，加强日常检查和定期检查，根据零件磨损规律和检查结果，在设备发生故障之前有计划地进行修理。由于加强了日常维护保养工作．使得设备有效寿命延长了，而且由于修理的计划性，便于做好修理前准备工作，使设备修理停歇时间大为缩短，提高了设备有效利用率。
3．生产维修
预防维修虽有上述优点，但有时会使维修工作量增多，造成过分保养。为此，1954年又出现了生产维修。生产维修要求以提高企业生产经济效果为目的来组织设备维修。其特点是，根据设备重要性选用维修保养方法，重点设备采用预防维修，对生产影响不大的一般设备采用事后修理。这样，一方面可以集中力量做好重要设备的维修保养工作，同时也可以节省维修费用。
4．维修预防
人们在设备的维修工作中发现，虽然设备的维护、保养、修理工作进行得好坏对设备的故障率和有效利用率有很大影响，但是设备本身的质量如何对设备的使用和修理往往有着决定性的作用。设备的先天不足常常是使修理工作难以进行的主要方面。因此，于1960年出现了维修预防的设想。这是指在设备的设计、制造阶段就考虑维修问题，提高设备的可靠性和易修性，以便在以后的使用中，最大可能地减少或不发生设备故障，一旦故障发生，也能使维修工作顺利地进行。维修预防是设备维修体制方面的一个重大突破。
5．设备综合营理
公设备维修预防的基础上．从行为科学、系统理论的观点出发，于70年代初，又形成了设备综合管理的概念。设备综合工程学，或叫设备综合管理学．英文原名是Terotechnology，它是对设备实行全面管理的一种重要方式。1970年首创于英国，继而流传于欧洲各国。这是设备管理方面的一次革命。日本在引进、学习的过程中，结合生产维修的实践经验，创造了全面生产维修制度，它是日本式的设备综合管理。
随着计算机技术在企业中应用的发展。设备维修领域也发生了重大变化，出现了基于状态维修(Condition-basicmaintenance)和智能维修(Intelligentmaintenance)等新方法。
基于状态维修是随着可编程逻辑控制器(PLC)的出现而在生产系统上使用的，能够连续地监控设备和加工参数。采用基于状态维修，是把PLC直接连接到—台在线计算机上，实时监控设备的状态，如与标准正常公差范围发生任何偏差，将自动发出报警(或修理命令)。这种维护系统安装成本可能很高，但是可以大大提高设备的使用水平。
智能维修，或称自维修，包括电子系统自动诊断和模块式置换装置，将把远距离设施或机器的传感器数据连续提供给中央工作站。通过这个工作站，维护专家可以得到专家系统和神经网络的智能支持，以完成决策任务。然后将向远方的现场发布命令，开始维护例行程序，这些程序可能涉及调整报警参数值、启动机器上的试验振动装置、驱动备用系统或子系统。美国联邦航空管理局(FAA)正在开发远距离维护监控系统(RMMS)．它是维护自动化未来发展方向的一个范例。在有些例子中，可以用机器人技术进行远距离模块置换。